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      測試與失效分析

      Testing and Failure Analysis

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      飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

      設備型號:PHI nano TOF Ⅱ
      針對各類儲能業(yè)務需求,TIES力圖發(fā)展成為布局全面,面向市場,集測試分析、失效分析、資質認證、技術開發(fā)、工程放大、智能制造、高價值信息服務、高端培訓為一體的研發(fā)型企業(yè)。 聯系我們

      技術參數

      1)低質量時質量分辨率:m/z = 28 (Si+)和29 (SiH+) 的m/?m ≥ 12,000

      2)高質量時質量分辨率:m/z > 200的m/?m ≥ 16,000

      3)絕緣材料質量分辨率:PET標準樣品m/z = 104的m/?m ≥ 12,000

      4)質量范圍:1~12000 amu以上

      5)質量精度:< 2 mu @ m < 100 u;< 10 ppm @ m > 100 u

      6)空間分辨率:水平空間分辨率:≤ 70nm

      7)靈敏度:m/z = 27時 ≥ 5.5 ×108 Al+ cts / nanocoulomb

      8)信噪比:≥ 2 × 105

      9)GCIB團簇離子源能量范圍:1keV ~ 20 keV


      應用范圍

      TOF-SIMS被廣泛應用于各種材料開發(fā),材料剖析,多層薄膜/結構剖析與失效機理的分析和研究具有不可替代的作用。

      研發(fā)領域:半導體器件、納米器件、生物醫(yī)藥、量子結構、能源電池材料等

      高新技術:高分子材料、金屬、半導體、玻璃陶瓷、納米鍍層、紙張、薄膜、纖維等

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